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德國英??礗NFICON CDG025D電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計, 在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能。
德國英??礗NFICON CDG025D電容膜片真空計產(chǎn)品簡介:
INFICON SKY CDG025D 電容膜片計系列高精度溫度補償壓力計專為在惡劣的制造工具環(huán)境中保持穩(wěn)定的性能而設計。
先進的數(shù)字電子設備可提高儀表性能并提供易于操作的功能,例如一鍵歸零功能和設定點調整。
耐腐蝕陶瓷傳感器提供的零穩(wěn)定性,預期壽命長達數(shù)百萬個壓力循環(huán),包括大氣爆裂。獨特的傳感器屏蔽可保護儀表免受過程污染。
穩(wěn)健的機械設計和數(shù)字電子設備提高了 EMC 兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補償。
CDG025D 為通電后的快速穩(wěn)定性和大氣壓力暴露的快速恢復設定了新標準。
德國英??礗NFICON CDG025D電容膜片真空計產(chǎn)品特點:
. 滿量程范圍從 100 mTorr … 1000 Torr
. 上電后快速穩(wěn)定
. 從大氣壓中快速恢復
. 耐腐蝕陶瓷傳感器
. 長期信號穩(wěn)定性
. 溫度補償
. 傳感器免受污染
. 一鍵歸零功能
. 寬范圍電源。
德國英福康INFICON CDG025D電容膜片真空計產(chǎn)品應用:
. 用于蝕刻、CVD、PVD、ALD的半導體制造設備
. 數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設備
. 工業(yè)真空設備
. 通用高精度壓力測量。
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