美國ALICAT MWB系列便攜式低壓損氣體質量流量計技術參數(shù)：

1、性能：

可用量程：較大0-1000 slpm;較小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程，參見零件編號標簽)

可調比：200:1

標準精度(NIST可溯源)：±(0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程)

高精度(選配，NIST可溯源)：±(0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程)

可重復性：0.2%滿量程

標準控制器響應時間常數(shù)：5-10ms

無需預熱時間

2、工作條件：

兼容氣體：98種預置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體

工作溫度：-10°C至+60°C

較大內部壓力(靜態(tài))：45 psig(60 psia)

較大差壓(進口至出口)：15 psid

耐受壓力：175 psig(190 psia)

STP/NTP：用戶可選(默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)