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英國MICHELL Pura高純氣露點變送器

英國MICHELL Pura高純氣露點變送器

含稅價格:電話咨詢

由于政策、關(guān)稅、匯率等不確定因素,請電話咨詢價格:13810739113
  • 品   牌:英國MICHELL(密析爾)
  • 簡   介: 英國MICHELL Pura高純氣露點變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗,結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的初個適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。

英國MICHELL Pura高純氣露點變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗,結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的初個適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。


英國MICHELL Pura高純氣露點變送器產(chǎn)品簡介:

在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點,需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案,用來在線測量露點值,下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產(chǎn)和校驗的專業(yè)經(jīng)驗,結(jié)合標準工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的初個適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。


英國MICHELL Pura高純氣露點變送器產(chǎn)品特點:

測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)

測量穩(wěn)定,重復性好

高度集成的采樣裝置

模擬和數(shù)字輸出

安裝簡便

VCR 過程接口

設(shè)計緊湊小巧

顯示/報警單元可選



儀器參數(shù)

英國MICHELL Pura高純氣露點變送器技術(shù)參數(shù):

傳感器

傳感器類型

密析爾陶瓷濕度傳感器

量程

-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)

精度

±1°C   -40 ~ -60°C;
±2°C   -61 ~ -100°C;
±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)

分辨率

0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
1°C           -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C

壓力

10-9 torr; 大到24 MPa

氣體流量

1 ~ 5 Nl/min

電氣

電源

通常 24 V DC, 低至10 V ~ 高到28 V , 大電流 25 mA

輸出

4-20 mA 輸出對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整調(diào)整量程從 1 ~ 80°C 

(標配提供)
大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)

輸出出錯狀態(tài)

標準輸出出錯信息如下: 23mA=傳感器故障; 20mA=超上限; 4mA=超下限

機械性能

傳感器套筒

不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內(nèi)拋光

氣路連接端口

Premium 或 OEM : ?" m VCR 接口
Pura Sensor : ?" m VCR 接口

安裝配置

Premium 或 OEM : 120.00mm氣路端口的端面密封

無需預留管路空隙;
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔

斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm;
Pura Sensor 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中。

尺寸

Premium 或 OEM : 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor : 132 x 35mm

重量

Premium 或 OEM : 450g
Pura Sensor : 180g

包裝

Pura: 雙層包裝惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 單層包裝
*有選配件: 獨立包裝運輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作


英國MICHELL Pura高純氣露點變送器